《半導體》台積電中科擴廠，10奈米預計2017年生產

【時報記者沈培華台北報導】台積電 (2330) 位於中科的晶圓十五廠新建廠區，預計將於後年開始生產10奈米製程。公司並期許晶圓十五廠的開發能兼顧企業發展與環境友善共存，並成為台中生態環境保護的典範。

台積公司宣布，將台中市大肚山區晶圓十五廠擴廠區域內的樹木，依樹種屬性、樹木直徑，以移植或補植的方式，就近優先在台中科園區第一、二期異地種植，另有部分樹木原地保留；並在擴廠區域內增加植樹木，使得擴廠區域的植物固碳量較擴廠前提高10%，增加整體減碳效益；同時，亦針對日前傳聞台積公司因晶圓十五廠擴廠，將砍伐15萬棵樹之錯誤資訊提出澄清。

台積電指出，晶圓十五廠於2010年在台中科學工業園區設立，設廠之初，即以最嚴格的世界級標準做規劃，務求減少能源耗竭，並盡力將自然資源回收再利用。營運至今，全廠製程水回收率已達90%、單位晶圓耗電量下降44%、單位晶圓面積用水量減少62%、以及單位晶圓廢棄物量下降40%。未來在節水、節電與廢棄物處理方面會持續努力。

台積電位於中科的台積晶圓十五廠新建廠區，將用於10奈米技術的量產，預計在明年中開始安裝機台，並於後年生產，將是公司在競爭激烈的半導體產業一個重要的里程碑。